一种基于VPX总线的工件台同步运动控制系统及方法
摘要:
一种基于VPX总线的工件台同步运动控制系统及方法,属于半导体等精密机械设备运动控制系统技术领域。该运动控制系统包括VPX总线机箱、CPU主控单元、运动控制单元、光纤接口单元、功率放大器单元、电机驱动器单元、测量单元和人机交互单元;采用本发明的基于VPX总线的工件台运动控制系统综合实现了对于电机轴数多、信息量大以及控制算法复杂等不同平台的适应。该控制系统通过RapidIO总线架构实现系统多处理器的高速互连;通过多核DSP运动控制单元实时、快速完成反馈数据计算;通过光纤接口单元实现各路数据的通信。该控制系统与现有技术相比,不但能够负载复杂的控制算法,而且具有灵活的网络拓扑结构、强实时性、高速数据传输能力以及强大的数据处理能力。
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