发明公开
CN105541124A 一种消影导电玻璃
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种消影导电玻璃
- 专利标题(英): Shadow-eliminating electrically conducting glass
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申请号: CN201510985601.7申请日: 2015-12-25
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公开(公告)号: CN105541124A公开(公告)日: 2016-05-04
- 发明人: 李刚 , 蒋继文 , 金克武 , 曹欣 , 张宽翔 , 杨勇 , 姚婷婷 , 王芸 , 徐根保
- 申请人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 申请人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
- 当前专利权人地址: 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
- 代理机构: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所
- 代理商 杨晋弘
- 主分类号: C03C17/34
- IPC分类号: C03C17/34
摘要:
本发明公开一种消影导电玻璃,包括玻璃基板,玻璃基板上依次设有SiO2膜层、ITO膜层与高折射率膜层,所述高折射率膜层为Nb2O5膜层或TiO2膜层;采用Nb2O5膜层或TiO2膜层作为高折射率膜层,在满足ITO方阻值的同时消除蚀刻阴影,保证显示效果;由于采用氧化物膜层,在沉积时只需要通入氧气这一种反应气体,更换靶材就可以实现不同膜层的沉积,在一个腔室里就能够完成,无需增加额外溅射腔室,减少生产设备的投入降低成本;另外,对不同膜层可以连续沉积,不需要经过抽放气环节,降低工艺难度,提高了生产效率。