发明公开

一种消影导电玻璃
摘要:
本发明公开一种消影导电玻璃,包括玻璃基板,玻璃基板上依次设有SiO2膜层、ITO膜层与高折射率膜层,所述高折射率膜层为Nb2O5膜层或TiO2膜层;采用Nb2O5膜层或TiO2膜层作为高折射率膜层,在满足ITO方阻值的同时消除蚀刻阴影,保证显示效果;由于采用氧化物膜层,在沉积时只需要通入氧气这一种反应气体,更换靶材就可以实现不同膜层的沉积,在一个腔室里就能够完成,无需增加额外溅射腔室,减少生产设备的投入降低成本;另外,对不同膜层可以连续沉积,不需要经过抽放气环节,降低工艺难度,提高了生产效率。
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