发明授权
- 专利标题: 一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
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申请号: CN201410686903.X申请日: 2014-11-25
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公开(公告)号: CN105605814B公开(公告)日: 2019-02-05
- 发明人: 杜淼 , 郝雷 , 杨海龄 , 张子楠 , 余航 , 王笑静 , 于庆河 , 刘晓鹏 , 蒋利军
- 申请人: 北京有色金属研究总院
- 申请人地址: 北京市西城区新街口外大街2号
- 专利权人: 北京有色金属研究总院
- 当前专利权人: 有研工程技术研究院有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市西城区新街口外大街2号
- 代理机构: 北京北新智诚知识产权代理有限公司
- 代理商 刘秀青; 熊国裕
- 主分类号: F24S70/225
- IPC分类号: F24S70/225 ; B32B15/04 ; B32B9/04 ; B32B33/00 ; C23C14/35 ; C23C14/06
摘要:
本发明公开了一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法。该吸收涂层从基底向外,依次为金属红外高反射层、吸收层、减反射层和保护层,其中吸收层由过渡金属氮氧化物MoxAl1‑xOyN1‑y或WxAl1‑xOyN1‑y构成,其中,x=0.1‑0.9,y=0.1‑0.9。其制备方法,包括以下步骤:(1)采用直流磁控溅射法在基底表面制备金属红外高反射层;(2)采用Mo或W和Al纯金属靶,或者采用固定成分的MoAl或WAl靶,氩气、氮气和氧气气氛下共溅射形成吸收层;(3)选择Al靶,采用直流或中频磁控溅射法制备减反射层;(4)选择Si靶,采用直流或中频磁控溅射法制备保护层。本发明的吸收涂层具有光学性能优良、耐高温能力强、耐候性良好等特点,在制备工艺方面易于实现且调控简单,适用于平板集热器在我国的应用现状。
公开/授权文献
- CN105605814A 一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法 公开/授权日:2016-05-25