一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种太阳光谱选择性吸收涂层及其制备方法。该吸收涂层从基底向外,依次为金属红外高反射层、吸收层、减反射层和保护层,其中吸收层由过渡金属氮氧化物MoxAl1‑xOyN1‑y或WxAl1‑xOyN1‑y构成,其中,x=0.1‑0.9,y=0.1‑0.9。其制备方法,包括以下步骤:(1)采用直流磁控溅射法在基底表面制备金属红外高反射层;(2)采用Mo或W和Al纯金属靶,或者采用固定成分的MoAl或WAl靶,氩气、氮气和氧气气氛下共溅射形成吸收层;(3)选择Al靶,采用直流或中频磁控溅射法制备减反射层;(4)选择Si靶,采用直流或中频磁控溅射法制备保护层。本发明的吸收涂层具有光学性能优良、耐高温能力强、耐候性良好等特点,在制备工艺方面易于实现且调控简单,适用于平板集热器在我国的应用现状。
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