- 专利标题: 碲镉汞富碲液相外延金原位掺杂分凝系数测定方法及装置
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申请号: CN201511021591.1申请日: 2015-12-31
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公开(公告)号: CN105628548B公开(公告)日: 2018-02-16
- 发明人: 胡尚正 , 刘铭 , 折伟林 , 吴卿 , 孙浩 , 周立庆
- 申请人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路4号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第十一研究所
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路4号
- 代理机构: 工业和信息化部电子专利中心
- 代理商 梁军
- 主分类号: G01N5/04
- IPC分类号: G01N5/04
摘要:
本发明公开了一种碲镉汞富碲液相外延金原位掺杂分凝系数的测定方法及装置。本发明通过先假定分凝系数得到单位体积Au‑HgCdTe母液中Au的含量,并进行Au‑HgCdTe母液中Au、Hg、Cd、Te含量的计算,随后进行母液合成和液相外延,最后通过去除衬底获得纯的Au‑HgCdTe薄膜,再用ICP‑OES测试Au‑HgCdTe薄膜中Au的实际掺杂浓度,最后根据分凝系数的公式,结合单位体积Au‑HgCdTe母液中Au的含量,计算出碲镉汞富碲液相外延金原位掺杂分凝系数,解决了现有技术不能用于碲镉汞富碲液相外延金原位掺杂分凝系数测定的问题,能够获得高度准确的测试结果。
公开/授权文献
- CN105628548A 碲镉汞富碲液相外延金原位掺杂分凝系数测定方法及装置 公开/授权日:2016-06-01