- 专利标题: 无水电化学刻蚀铜锌锡硫薄膜材料表面的方法
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申请号: CN201410620628.1申请日: 2014-11-06
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公开(公告)号: CN105633203B公开(公告)日: 2017-06-09
- 发明人: 叶勤燕 , 张永政 , 廖成 , 刘江 , 何绪林 , 刘焕明 , 梅军
- 申请人: 中物院成都科学技术发展中心
- 申请人地址: 四川省成都市青羊区八宝街90号
- 专利权人: 中物院成都科学技术发展中心
- 当前专利权人: 中物院成都科学技术发展中心
- 当前专利权人地址: 四川省成都市青羊区八宝街90号
- 代理机构: 四川力久律师事务所
- 代理商 曹晋玲; 刘雪莲
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18
摘要:
本发明涉及太阳能电池技术领域,具体公开了一种无水电化学刻蚀铜锌锡硫薄膜材料表面的方法,具体包括将铜锌锡硫薄膜材料放在石英管式炉硒化或硫化后,将铜锌锡硫薄膜材料放置在电化学工作站,仅衬底和Mo连接工作电极;配制0.001~1M/L的无水氯盐和离子液的混合溶液,离子液为氯化胆碱与尿素按质量比1:0.1~3混合而成;加热处理溶液,施加电信号,处理1~600S后取出,电信号为循环伏安电信号、恒压电信号、恒流电信号、脉冲电压电信号或脉冲电流电信号的任一种。本发明的方法可对铜锌锡硫表面进行选择性腐蚀,不仅去除铜锌锡硫薄膜表面的铜硒二次相(CuxSe),而且避免水溶液中化学刻蚀对吸收层表面腐蚀带来的不均匀现象,环境友好,操作简单。
公开/授权文献
- CN105633203A 无水电化学刻蚀铜锌锡硫薄膜材料表面的方法 公开/授权日:2016-06-01
IPC分类: