发明授权
- 专利标题: 无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱
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申请号: CN201610186870.1申请日: 2016-03-29
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公开(公告)号: CN105666528B公开(公告)日: 2018-12-07
- 发明人: 张德龙
- 申请人: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区杏林街78号新兴产业工业坊2号厂房
- 专利权人: 威格气体纯化科技(苏州)股份有限公司
- 当前专利权人: 威格科技(苏州)股份有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市苏州工业园区杏林街78号新兴产业工业坊2号厂房
- 代理机构: 苏州华博知识产权代理有限公司
- 代理商 何蔚
- 主分类号: B25J21/02
- IPC分类号: B25J21/02 ; B01D46/00
摘要:
本发明公开了一种无尘室循环过滤装置,其包括:过滤单元,其设置于无尘室内,该过滤单元与无尘室的顶部之间形成第一腔室;板体,其上开设有多个通孔,该板体设置于无尘室内并位于过滤单元的下方,该板体与过滤单元之间形成第二腔室,该板体与无尘室的底部之间形成第三腔室;回风通道,其两端分别连通第一腔室和第三腔室。本发明同时还公开了一种无尘室和手套箱。本发明与现有技术相比,在简化结构和降低成本的前提下,同样形成了高洁净度的无尘环境,使得洁净度同样可以达到ISO1级。
公开/授权文献
- CN105666528A 无尘室循环过滤装置、无尘室及手套箱 公开/授权日:2016-06-15
IPC分类: