一种砷化镓基底低亮度黄光发光二极管芯片及其制作方法
摘要:
一种砷化镓基底低亮度黄光发光二极管芯片及其制作方法,属于光电子技术领域,在制作中,GaAs缓冲层与n型载流子限制层之间设有减反射层,同时在两层p型载流子限制层之间设有p型反射吸收层。使用金属有机化合物气相沉积设备(MOCVD)将GaAs基片制备成具有低亮度黄光LED外延结构的低亮度黄光LED外延片,再将这种外延片经过芯片工艺加工成独立的LED芯片。本发明产品在不降低可靠性,不改变LED芯片外观尺寸的前提下,降低了四元系黄光LED法向光强,以利于扩宽AlGaInP四元系LED芯片的应用范围。
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