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用于生产薄膜的湿式方法
Abstract:
本发明涉及一种用于生产薄膜的方法,该方法包括:制备一种溶液,该溶液含有过渡金属氧化物前体、螯合剂和极性有机溶剂;将该溶液保持在搅拌下以便形成一种溶胶;并且以过渡金属氧化物膜的形式使用该溶胶。该方法的特征在于该螯合剂选自二-或三-脂肪族羧酸、或其盐或混合物之中,并且在于该极性有机溶剂具有在大气压下低于150℃的沸点。
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