发明授权
- 专利标题: 采用扫描式蒸发源的镀膜装置及其镀膜方法
-
申请号: CN201610215427.2申请日: 2016-04-08
-
公开(公告)号: CN105695938B公开(公告)日: 2018-06-12
- 发明人: 林为平 , 范滨 , 张洪
- 申请人: 光驰科技(上海)有限公司
- 申请人地址: 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
- 专利权人: 光驰科技(上海)有限公司
- 当前专利权人: 光驰科技(上海)有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市宝山区宝山城市工业园区城银路267号
- 代理机构: 上海申蒙商标专利代理有限公司
- 代理商 徐小蓉
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/54
摘要:
本发明涉及薄膜制备技术,具体涉及一种采用扫描式蒸发源的镀膜装置及其镀膜方法,其特征在于:在真空镀膜室内设置盛放基片的镀膜工件架,扫描式蒸发源设置在真空镀膜室上。扫描式蒸发源中的坩埚可以定点、定时、扫描方式运动并进行膜料蒸发;扫描式蒸发源还设置有与真空镀膜室相对独立的加药腔室,可使膜料的添加、预热和真空镀膜室的镀膜工序分隔开来。本发明的优点是:可实现在不借助膜厚补正板的情况下,工件架上所有基片的镀膜厚度满足均匀性要求,提升了膜料利用率和镀膜效率,降低了镀膜成本;能够实现加药腔室中的加药、排气和预热工序与真空镀膜室中的排气、镀膜工序同步进行,提升了生产效率和膜层质量。
公开/授权文献
- CN105695938A 采用扫描式蒸发源的镀膜装置及其镀膜方法 公开/授权日:2016-06-22
IPC分类: