采用扫描式蒸发源的镀膜装置及其镀膜方法
摘要:
本发明涉及薄膜制备技术,具体涉及一种采用扫描式蒸发源的镀膜装置及其镀膜方法,其特征在于:在真空镀膜室内设置盛放基片的镀膜工件架,扫描式蒸发源设置在真空镀膜室上。扫描式蒸发源中的坩埚可以定点、定时、扫描方式运动并进行膜料蒸发;扫描式蒸发源还设置有与真空镀膜室相对独立的加药腔室,可使膜料的添加、预热和真空镀膜室的镀膜工序分隔开来。本发明的优点是:可实现在不借助膜厚补正板的情况下,工件架上所有基片的镀膜厚度满足均匀性要求,提升了膜料利用率和镀膜效率,降低了镀膜成本;能够实现加药腔室中的加药、排气和预热工序与真空镀膜室中的排气、镀膜工序同步进行,提升了生产效率和膜层质量。
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