Invention Grant
- Patent Title: 光扫描装置及光扫描控制装置
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Application No.: CN201610237754.8Application Date: 2012-09-29
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Publication No.: CN105700129BPublication Date: 2018-04-17
- Inventor: 田中丰树 , 高桥宗明 , 关根久通 , 阿贺寿典 , 日比谷利一郎
- Applicant: 三美电机株式会社
- Applicant Address: 日本东京都
- Assignee: 三美电机株式会社
- Current Assignee: 三美电机株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都
- Agency: 北京银龙知识产权代理有限公司
- Agent 张敬强; 严星铁
- Priority: 2011-219255 2011.10.03 JP
- Main IPC: G02B26/08
- IPC: G02B26/08
Abstract:
本发明提供能够减少传感器配线的干扰,高精度地检测反射镜的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。该光扫描装置具有:以夹着反射镜及反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁;将第一驱动梁的一侧与扭转梁连结的连结梁;以及第一压电传感器,其形成在连结梁上,当在第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时,检测由扭转梁的绕轴的摆动引起的连结梁的位移,第一压电传感器机构将上部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的一方的第一驱动梁引出,将下部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的另一方的第一驱动梁引出。
Public/Granted literature
- CN105700129A 光扫描装置及光扫描控制装置 Public/Granted day:2016-06-22
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