光扫描装置及光扫描控制装置
Abstract:
本发明提供能够减少传感器配线的干扰,高精度地检测反射镜的倾斜的光扫描装置及光扫描控制装置。该光扫描装置具有:以夹着反射镜及反射镜支撑部的方式成对设置的第一驱动梁;将第一驱动梁的一侧与扭转梁连结的连结梁;以及第一压电传感器,其形成在连结梁上,当在第一驱动梁上施加驱动电压而使上述反射镜摆动时,检测由扭转梁的绕轴的摆动引起的连结梁的位移,第一压电传感器机构将上部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的一方的第一驱动梁引出,将下部电极配线向夹着反射镜及反射镜支撑部的另一方的第一驱动梁引出。
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