- 专利标题: 基于NPSS的窄带通GaN基MSM结构紫外探测器
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申请号: CN201610208217.0申请日: 2016-04-01
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公开(公告)号: CN105702773B公开(公告)日: 2017-08-01
- 发明人: 王俊 , 郭进 , 王国胜 , 吴浩然 , 王唐林 , 宋曼 , 易媛媛 , 谢峰
- 申请人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
- 申请人地址: 安徽省合肥市高新区香樟大道199号
- 专利权人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
- 当前专利权人: 中国电子科技集团公司第三十八研究所
- 当前专利权人地址: 安徽省合肥市高新区香樟大道199号
- 代理机构: 北京中企鸿阳知识产权代理事务所
- 代理商 刘葛; 郭鸿雁
- 主分类号: H01L31/108
- IPC分类号: H01L31/108 ; H01L31/0304
摘要:
本发明基于NPSS的窄带通GaN基MSM结构紫外探测器涉及一种半导体光电子器件。其目的是为了提供一种基于NPSS的窄带通GaN基MSM结构紫外探测器,该紫外探测器通过阻挡势垒结构对探测器的输运模式进行选择,同时采用先进的NPSS技术,进而达到全面提高窄带通紫外探测器性能的目的。本发明一种基于NPSS的窄带通GaN基MSM结构紫外探测器,自下而上依次包括:衬底、缓冲层、N型吸收层和肖特基电极;其中于肖特基电极的中间开有缺口,于所述肖特基电极的缺口处、N型吸收层的上方还依次包括N型势垒层和N型短波过滤层。
公开/授权文献
- CN105702773A 基于NPSS的窄带通GaN基MSM结构紫外探测器 公开/授权日:2016-06-22
IPC分类: