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发明公开
CN105712292A 具有可移动厚隔膜的微机电系统结构 无效 - 撤回

具有可移动厚隔膜的微机电系统结构
摘要：
本发明涉及制造MEMS器件的方法，其包括以下步骤：在牺牲基层上方形成第一隔膜层，在第一隔膜层上方形成第二隔膜层，其中第二隔膜层包括暴露第一隔膜层的侧向部分的侧向凹入部，以及形成止动件以限定第一隔膜层的移动。此外，提供了MEMS器件，其包括可移动隔膜，可移动隔膜包括第一隔膜层与形成在第一隔膜层上方的第二隔膜层，其中第二隔膜层包括暴露第一隔膜层的侧向部分的侧向凹入部。
摘要（英）：

The invention relates to a method of manufacturing an MEMS device that comprises the steps of forming a first membrane layer over a sacrificial base layer, forming a second membrane layer over the first membrane layer, wherein the second membrane layer comprises lateral recesses exposing lateral portions of the first membrane layer and forming stoppers to restrict movement of the first membrane layer. Moreover, it is provided MEMS device comprising a movable membrane comprising a first membrane layer and a second membrane layer formed over the first membrane layer, wherein the second membrane layer comprises lateral recesses exposing lateral portions of the first membrane layer.

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