发明授权
- 专利标题: 大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法
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申请号: CN201610133824.5申请日: 2016-03-10
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公开(公告)号: CN105714253B公开(公告)日: 2017-11-24
- 发明人: 耿宏安
- 申请人: 洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司
- 申请人地址: 河南省洛阳市新安县洛新工业园区双湘路
- 专利权人: 洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司
- 当前专利权人: 洛阳爱科麦钨钼科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 河南省洛阳市新安县洛新工业园区双湘路
- 代理机构: 洛阳公信知识产权事务所
- 代理商 苗强
- 主分类号: C23C14/34
- IPC分类号: C23C14/34 ; B22F3/04 ; B22F3/15
摘要:
大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法,包括利用钢模和橡胶板结合进行冷等静压成型的步骤、烧结的步骤、校平整形的步骤、热等静压处理的步骤、轧制的步骤、机加工的步骤。生产出的靶材的晶粒尺寸小于50微米,且晶粒大小的变化维持在20%以内,在靶材平面方向和厚度方向上,晶粒均为均匀分布;靶材的相对密度>97%;而且,可以生产长度2m左右、宽度1.3m左右的大尺寸溅射靶材。
公开/授权文献
- CN105714253A 大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法 公开/授权日:2016-06-29
IPC分类: