大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法
摘要:
大尺寸、细晶钼钽合金溅射靶材的制备方法,包括利用钢模和橡胶板结合进行冷等静压成型的步骤、烧结的步骤、校平整形的步骤、热等静压处理的步骤、轧制的步骤、机加工的步骤。生产出的靶材的晶粒尺寸小于50微米,且晶粒大小的变化维持在20%以内,在靶材平面方向和厚度方向上,晶粒均为均匀分布;靶材的相对密度>97%;而且,可以生产长度2m左右、宽度1.3m左右的大尺寸溅射靶材。
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