一种中红外光栅衍射效率的测量装置，该装置包括可调谐中红外测试激光器、导引激光器、偏振器件、偏振分光器件、待测光栅、三维电动位移台、光探测器、衰减片、光谱仪。利用中红外光栅对不同波长、不同入射角度、不同偏振特性的中红外激光的一级衍射输出功率不同对中红外光栅的衍射效率进行直接测量，更为真实地反映了中红外光栅在现实应用中的实际衍射效率。采用偏振分光测量及双光路双探测器比较探测，保证了测量精度。可以实现中红外波段光栅一级光谱衍射效率的连续测量。