石英玻璃微缺陷检测方法
摘要:
本发明公开了一种石英玻璃微缺陷检测方法,包括如下步骤:将石英玻璃样品两通光面进行精密抛光;将已抛光好的石英玻璃样品用酸溶液进行腐蚀;石英玻璃样品腐蚀0.5~2小时取出并用去离子水清洗干净,利用显微镜观察检测石英玻璃样品;按上述步骤对石英玻璃样品重复腐蚀和观察,直至观察到石英玻璃样品中的缺陷或至石英玻璃样品的厚度剩余20?30μm仍未观察到缺陷。本发明方法可检测石英玻璃中的微缺陷。
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