发明公开
- 专利标题: 石英玻璃微缺陷检测方法
- 专利标题(英): Silica-glass micro-defect detecting method
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申请号: CN201610055734.9申请日: 2016-01-27
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公开(公告)号: CN105717137A公开(公告)日: 2016-06-29
- 发明人: 聂兰舰 , 向在奎 , 杜秀蓉 , 张晓强 , 王蕾 , 王慧 , 刘飞翔 , 贾亚男 , 符博
- 申请人: 中国建筑材料科学研究总院
- 申请人地址: 北京市朝阳区管庄东里1号
- 专利权人: 中国建筑材料科学研究总院
- 当前专利权人: 中国建筑材料科学研究总院
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区管庄东里1号
- 代理机构: 北京鼎佳达知识产权代理事务所
- 代理商 王伟锋; 刘铁生
- 主分类号: G01N21/958
- IPC分类号: G01N21/958 ; G01N1/32
摘要:
本发明公开了一种石英玻璃微缺陷检测方法,包括如下步骤:将石英玻璃样品两通光面进行精密抛光;将已抛光好的石英玻璃样品用酸溶液进行腐蚀;石英玻璃样品腐蚀0.5~2小时取出并用去离子水清洗干净,利用显微镜观察检测石英玻璃样品;按上述步骤对石英玻璃样品重复腐蚀和观察,直至观察到石英玻璃样品中的缺陷或至石英玻璃样品的厚度剩余20?30μm仍未观察到缺陷。本发明方法可检测石英玻璃中的微缺陷。
公开/授权文献
- CN105717137B 石英玻璃微缺陷检测方法 公开/授权日:2020-08-11