一种高质量碳化硅晶体生长的方法
摘要:
本发明公开了一种高质量碳化硅晶体生长的方法,其包括位于高温区的碳化硅原料,位于温度低于原料区的籽晶,以及覆盖于原料之上的一层耐高温化学性能稳定的碳化物粉末层。相比于常规的气相传输法生长碳化硅晶体,本发明不同之处在于碳化硅原料表面上增加了一层耐高温化学性能稳定的碳化物粉末层,其优点是:耐高温化学性能稳定碳化物粉末层能够显著减少晶体中的包裹物缺陷,获得高质量的碳化硅晶体,提高了碳化硅晶体生长的成品率。
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