半导体用树脂组合物及半导体用树脂膜以及使用了它们的半导体器件
摘要:
本发明的目的在于得到一种半导体用树脂组合物,所述半导体用树脂组合物的固化物的线膨胀系数足够小,并且制成的半固化膜中无机粒子在膜厚方向上的分布均匀。本发明提供一种半导体用树脂组合物,其特征在于,其是含有(a)环氧化合物、(b)无机粒子、(c)聚酰亚胺及(d)溶剂的半导体用树脂组合物,在从上述半导体用树脂组合物的总重量中除去上述(d)溶剂的重量而得到的全部固态成分的重量中,上述(b)无机粒子的比例为60重量%以上92重量%以下,所述半导体用树脂组合物还含有(e)橡胶粒子。
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