发明授权
CN105762054B 一种真空腔外可控的静态气体靶装置及其使用方法
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种真空腔外可控的静态气体靶装置及其使用方法
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申请号: CN201610211867.0申请日: 2016-04-07
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公开(公告)号: CN105762054B公开(公告)日: 2017-11-28
- 发明人: 尉鹏飞 , 郁慧珍 , 俞军 , 廖志广 , 童瑞寰 , 姜杨杨 , 毕誉红 , 张丽英 , 杨丁中 , 董一鸣
- 申请人: 绍兴文理学院
- 申请人地址: 浙江省绍兴市环城西路508号绍兴文理学院
- 专利权人: 绍兴文理学院
- 当前专利权人: 绍兴文理学院
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市环城西路508号绍兴文理学院
- 代理机构: 绍兴市越兴专利事务所
- 代理商 蒋卫东
- 主分类号: H01J49/14
- IPC分类号: H01J49/14
摘要:
本发明涉及一种真空腔外可控的静态气体靶装置,包括入射窗和出射窗,入射窗通过三通管一连接有可伸缩波纹管一,出射窗通过三通管二连接有可伸缩波纹管二,可伸缩波纹管一和可伸缩波纹管二之间连接有气体盒,气体盒上连接有微调阀,微调阀连接有气压计;三通管一通过外置三通管一连接有变径转接口,变径转接口连接有真空计;三通管二通过外置三通管二连接有挡板阀,挡板阀连接有真空泵,外置三通管一和外置三通管二通过链接波纹管连接。本发明结构简单,调控方便,且成本低廉,适用于社会生产或科学实验中需要利用光与气态物质相互作用的工程领域。
公开/授权文献
- CN105762054A 一种真空腔外可控的静态气体靶装置及其使用方法 公开/授权日:2016-07-13