发明授权
- 专利标题: 晶片定位装置及方法
-
申请号: CN201410799981.0申请日: 2014-12-19
-
公开(公告)号: CN105762101B公开(公告)日: 2019-02-19
- 发明人: 李靖
- 申请人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 申请人地址: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人: 北京北方华创微电子装备有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
- 代理机构: 广州华进联合专利商标代理有限公司
- 代理商 郑小粤
- 主分类号: H01L21/68
- IPC分类号: H01L21/68
摘要:
本发明公开了一种晶片定位装置及方法。其中该装置包括用于放置晶片的旋转支撑结构和晶片位置采集结构,晶片位置采集结构包括光源、透镜、CCD传感器和数据处理部件,其中,光源包括LED,透镜为长条形透镜,且长条形透镜能够将LED发出的光发散为面积大于等于CCD传感器的接收面面积的长条形光斑;数据处理部件接收CCD传感器的输出信号,并对所接收的信号进行处理,得到晶片的位置。整个装置对光源的要求大大降低,大大降低了设备成本。且只使用一个透镜对光源进行处理,设备整体结构精简,安装方便。其配合本发明的晶片定位方法实现了通过普通光源进行晶片位置的确定。该方法计算量小,晶片位置确定准确。
公开/授权文献
- CN105762101A 晶片定位装置及方法 公开/授权日:2016-07-13
IPC分类: