发明公开
- 专利标题: 一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法
- 专利标题(英): Manufacturing method of shape-controllable flexible micro-nano column array
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申请号: CN201610211929.8申请日: 2016-04-06
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公开(公告)号: CN105776129A公开(公告)日: 2016-07-20
- 发明人: 蒋维涛 , 刘红忠 , 雷彪 , 陈邦道 , 史永胜 , 尹磊
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市咸宁路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市咸宁路28号
- 代理机构: 西安智大知识产权代理事务所
- 代理商 贺建斌
- 主分类号: B82B3/00
- IPC分类号: B82B3/00 ; B82Y40/00 ; B81C1/00
摘要:
一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法,先在基底表面涂覆水溶胶粘附层,然后在水溶胶粘附层上通过光刻工艺获取微纳米图形化的光刻胶,再在光刻胶表面通过刮涂法得到微纳米颗粒图形化,去除光刻胶,得到微纳米颗粒的图形化模板;将聚合物涂覆在衬底表面,然后对衬底进行预加热;将图形化模板表面的微纳米颗粒接触并嵌入聚合物;再提拉图形化模板,使聚合物被拉伸为微纳米柱阵列,然后对衬底加热使微纳米柱阵列固化;再加热图形化模板,使微纳米颗粒脱离水溶胶粘附层,得到顶端带有微纳米颗粒的微纳米柱阵列;最后将微纳米柱阵列顶端的微纳米颗粒去除,获得聚合物微纳米柱阵列,本发明具有操作简单、成本低、周期短的优点。
公开/授权文献
- CN105776129B 一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法 公开/授权日:2017-03-29