一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法
摘要:
一种形态可控柔性微纳米柱阵列的制造方法,先在基底表面涂覆水溶胶粘附层,然后在水溶胶粘附层上通过光刻工艺获取微纳米图形化的光刻胶,再在光刻胶表面通过刮涂法得到微纳米颗粒图形化,去除光刻胶,得到微纳米颗粒的图形化模板;将聚合物涂覆在衬底表面,然后对衬底进行预加热;将图形化模板表面的微纳米颗粒接触并嵌入聚合物;再提拉图形化模板,使聚合物被拉伸为微纳米柱阵列,然后对衬底加热使微纳米柱阵列固化;再加热图形化模板,使微纳米颗粒脱离水溶胶粘附层,得到顶端带有微纳米颗粒的微纳米柱阵列;最后将微纳米柱阵列顶端的微纳米颗粒去除,获得聚合物微纳米柱阵列,本发明具有操作简单、成本低、周期短的优点。
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