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发明公开
CN105783737A 一种新型小量程超高精度位移传感器及测量方法 无效 - 驳回

  • 专利标题： 一种新型小量程超高精度位移传感器及测量方法
  • 专利标题（英）： Novel small measuring range ultrahigh precision displacement sensor and measuring method
  • 申请号： CN201610334715.X
    申请日： 2016-05-19
  • 公开(公告)号： CN105783737A
    公开(公告)日： 2016-07-20
  • 发明人: 张白 , 潘俊涛
  • 申请人： 北方民族大学
  • 申请人地址： 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号
  • 专利权人： 北方民族大学
  • 当前专利权人： 北方民族大学
  • 当前专利权人地址： 宁夏回族自治区银川市西夏区文昌北路204号
  • 代理机构： 四川力久律师事务所
  • 代理商 王芸
  • 主分类号： G01B11/02
  • IPC分类号： G01B11/02
一种新型小量程超高精度位移传感器及测量方法
摘要：
本发明公开了一种新型小量程超高精度位移传感器及测量方法，该传感器包括激光束、两块反射镜和光电探测器和处理系统。采用该传感器，通过所述激光束在一组平行设置的两块反射镜之中不断反射，最终照射到所述光电探测器上一个位置，改变两块反射镜的间距，即会改变所述激光束的反射路径，最终照射到所述光电探测器上另一个位置，所述处理系统根据这两个不同位置处理得到一个探测距离值，这个探测距离值远远大于两块反射镜间距的真实改变值，所述处理系统能够通过这个探测距离值来计算出两块反射镜间距的真实改变值，该传感器结构简单，适用于被测物体位移连续变化的测量，测量可靠，精度较高，易于实现批量制造。
摘要（英）：

The invention discloses a novel small measuring range ultrahigh precision displacement sensor and a measuring method. The sensor comprises a laser beam, two reflectors, a photoelectric detector, and a processing system. According to the sensor, the laser beam is reflected continuously between the two reflectors which are paralleled arranged, and finally the laser beam irradiates at one position of the photoelectric detector; then the space between the two reflectors is changed and therefore the reflecting path of the laser beam is changed so that the laser beam irradiates at another position of the photoelectric detector. The processing system obtains a detection distance value through processing according to the two different positions, wherein the detection distance value is far more than the real change value of the space between the two reflectors; the processing system can calculate the real change value of the space between the two reflectors through the detection distance value. The sensor having a simple structure, reliable measurement and high precision can be applied in measuring continuous displacement change of objects and is easy for batch manufacture.

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