摘要:
本发明公开了一种大分子结构光敏剂及其制备方法和用该光敏剂制备的光刻胶,所述光敏剂具有如下结构通式:用该光敏剂制备的光刻胶,具有化学稳定性好、抗腐蚀好、抗高温等突出优点。
公开/授权文献
- CN105801787A 一种大分子结构光敏剂及其制备方法和用该光敏剂制备的光刻胶 公开/授权日:2016-07-27