带压宽域动态配气灌装方法及装置
Abstract:
本发明提供一种带压宽域动态配气灌装方法及装置,方法为:SF6气体与样气在质量流量控制器控制下进行混合,稀释样气浓度;稀释后的样气与SF6气体由质量流量控制器控制下进行混合、稀释;第二次稀释后的样气与SF6气体由质量流量控制器控制进行混合、稀释,最后充入标气瓶。装置为:SF6气瓶依次经设有减压阀、第一质量流量控制器、电磁阀、第一静态混合器、第二质量流量控制器、第二静态混合器、第三质量流量控制器、第三静态混合器、缓冲罐、电磁比例调节阀和隔膜压力机的主气路接标气瓶,SF6气瓶还经第四质量流量控制器接第二静态混合器输入端、经第五质量流量控制器接第三静态混合器输入端;样气气瓶均经第六质量流量控制器接第一静态混合器输入端。
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