发明公开
- 专利标题: 微波真空电子器件的零件除气方法、装置和系统
- 专利标题(英): Method, device and system for degassing of part of microwave vacuum electronic device
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申请号: CN201610231720.8申请日: 2016-04-14
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公开(公告)号: CN105826148A公开(公告)日: 2016-08-03
- 发明人: 刘燕文 , 田宏 , 朱虹 , 孟鸣凤 , 赵丽 , 谷兵
- 申请人: 中国科学院电子学研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 专利权人: 中国科学院电子学研究所
- 当前专利权人: 中国科学院电子学研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号: H01J9/38
- IPC分类号: H01J9/38 ; H01J9/39
摘要:
一种微波真空电子器件的零件的除气方法,包括步骤:(1)将所述零件置于一含电子枪的真空腔内;(2)固定所述零件,使电子枪对准所述零件;(3)所述真空腔抽真空后,开启电子枪轰击所述零件,进行除气。该除气方法使零件尤其是收集极中的气体去除干净,从而大大缩短微波真空电子器件的老练时间,同时提高器件内的极限真空度,从而大大延长器件的寿命而产生巨大经济效益。本发明简单易行、成本低,气体去除效率高,可以大大减少微波电真空器件的老练时间,具有很高的经济价值。