微波真空电子器件的零件除气方法、装置和系统
摘要:
一种微波真空电子器件的零件的除气方法,包括步骤:(1)将所述零件置于一含电子枪的真空腔内;(2)固定所述零件,使电子枪对准所述零件;(3)所述真空腔抽真空后,开启电子枪轰击所述零件,进行除气。该除气方法使零件尤其是收集极中的气体去除干净,从而大大缩短微波真空电子器件的老练时间,同时提高器件内的极限真空度,从而大大延长器件的寿命而产生巨大经济效益。本发明简单易行、成本低,气体去除效率高,可以大大减少微波电真空器件的老练时间,具有很高的经济价值。
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