本发明涉及一种微纳复合绒面结构黑硅、黑硅太阳能电池的制备方法，其中一种微纳复合绒面结构黑硅的制备方法，包括以下步骤：将硅片进行雾化腐蚀获得具有绒面结构的硅片；将获得的具有绒面结构的硅片进行雾化腐蚀，在绒面结构上腐蚀出纳米尺度的孔洞或线结构，得到微纳复合绒面结构的黑硅，本发明的方法极大地降低了腐蚀成本，减少了表面复合，提高了光电转换效率，且操作简单可控，以及解决了全液相腐蚀法中重金属消耗多、不易清洗、纳米陷光结构深度过深的问题。