本发明公开了一种气液固三相磨粒流循环加工方法，包括机架、加工池、真空夹具、三自由度夹具、抛光工具、真空泵、搅拌箱和水泵；加工池固定在机架上，真空夹具固定在加工池底部；搅拌箱和水泵均固定在机架上，搅拌箱的侧面上部开有磨粒流进料口，搅拌箱的下部沿圆周方向均布三个磨粒流出口；抛光工具通过三自由度夹具固定在真空夹具的上方。本发明引入微尺度气泡和高速气流，利用气泡溃灭和气流驱动流体加速大幅度提高磨粒产生加工作用的几率、力度和作用方向的随机性，有利于形成高效的原子级材料去除且表面纹理随机性的镜面效果；抛光工具本身无运动构件，有利于实现超光滑表面加工。