发明授权
- 专利标题: 一种光声复合三维微纳成像检测系统及方法
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申请号: CN201610311495.9申请日: 2016-05-11
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公开(公告)号: CN105842252B公开(公告)日: 2017-03-08
- 发明人: 马宏伟 , 张广明 , 董明 , 陈渊 , 齐爱玲 , 王星 , 张一澍 , 王浩添
- 申请人: 西安科技大学
- 申请人地址: 陕西省西安市雁塔中路58号
- 专利权人: 西安科技大学
- 当前专利权人: 西安科技大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市雁塔中路58号
- 代理机构: 西安创知专利事务所
- 代理商 李艳春
- 主分类号: G01N21/88
- IPC分类号: G01N21/88 ; G01N29/06 ; G01N29/07
摘要:
本发明公开了一种光声复合三维微纳成像检测系统,包括光全息光路,还包括计算机、显微镜、用于放置固体样品的压电晶片和用于驱动压电晶片振动的功率放大器,计算机上接有同步控制器和数字相机,同步控制器上接有波形发生器和脉冲激光器;光全息光路包括物光光路、参考光光路和第一分束立方镜,物光光路包括第二分束立方镜、第一扩束镜和第一反射镜,参考光光路包括第三分束镜、第二反射镜和第二扩束镜;本发明还公开了一种光声复合三维微纳成像检测方法。本发明设计合理,实现方便,能够适用于不同厚度的固体样品的缺陷检测,检测速度快,检测精度和可靠度高,真正实现了无损检测,实用性强,应用范围广,便于推广使用。
公开/授权文献
- CN105842252A 一种光声复合三维微纳成像检测系统及方法 公开/授权日:2016-08-10