用于后光学邻近修正修复的方法
摘要:
本发明提供一种用于后光学邻近修正修复的方法。所述方法包括:第一步骤:基于所述后光学邻近修正修复之前的光学邻近修正过程所产生的错误标记形成局部修正区域;以及第二步骤:在所述局部修正区域内实施局部光学邻近修正,直到不再产生错误标记。本发明所提供的用于后光学邻近修正修复的方法基于局部修正区域进行后光学邻近修正,可以大大减少运算量,提高效率。
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