电子显微镜的自动聚焦方法
摘要:
本发明公开了一种电子显微镜的自动聚焦方法,该方法的步骤如下:初始化步进电机,将步进电机设置在初始位置处,采集第一张图像;对第一张图像进行全图处理,得到图像变化最明显的t个区域,输出t个区域的梯度跳变值;每处理完一张图像,计算并输出t个梯度跳变值,步进电机向前移动λ步长,直到走完整个行程;将上述t个区域所有的梯度跳变值和所对应的电机位置分别拟合成t个二次曲线,从二次曲线中找到峰值所对应的电机位置,该位置即为可拍摄到最清晰图像对应的焦距;移动步进电机到上述位置,完成对焦,同时采集图像并显示。本发明可以消除电子显微镜在不同的环境光照下和不同的被摄物体材料表面对自动聚焦效果的影响。
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