Invention Grant
- Patent Title: 用于在电子装置制造中传输基板的机械手设备、驱动组件和方法
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Application No.: CN201480070637.6Application Date: 2014-12-26
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Publication No.: CN105848836BPublication Date: 2018-03-30
- Inventor: 伊贾·克雷默曼
- Applicant: 应用材料公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- Agent 徐金国; 赵静
- Priority: 61/923,701 2014.01.05 US
- International Application: PCT/US2014/072438 2014.12.26
- International Announcement: WO2015/103089 EN 2015.07.09
- Date entered country: 2016-06-23
- Main IPC: B25J18/04
- IPC: B25J18/04 ; B25J17/02
Abstract:
披露了一种传输基板的机械手设备。所述机械手设备可包括上臂、前臂、腕部构件及末端执行器,所述前臂可相对于所述上臂独立旋转,所述腕部构件可相对于所述前臂独立旋转,所述末端执行器适合于承载基板。在某些方面中,独立旋转由机械手驱动组件提供,所述机械手驱动组件具有第二驱动滑轮,所述第二驱动滑轮经安装以在第一驱动滑轮上旋转。在另一个方面中,披露了机械手驱动组件,这些机械手驱动组件包括安装于基座及安装于腹板上的滑轮。如数个其他方面,提供了机械手驱动组件及运作的方法。
Public/Granted literature
- CN105848836A 用于在电子装置制造中传输基板的机械手设备、驱动组件和方法 Public/Granted day:2016-08-10
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IPC分类: