用于在电子装置制造中传输基板的机械手设备、驱动组件和方法
Abstract:
披露了一种传输基板的机械手设备。所述机械手设备可包括上臂、前臂、腕部构件及末端执行器,所述前臂可相对于所述上臂独立旋转,所述腕部构件可相对于所述前臂独立旋转,所述末端执行器适合于承载基板。在某些方面中,独立旋转由机械手驱动组件提供,所述机械手驱动组件具有第二驱动滑轮,所述第二驱动滑轮经安装以在第一驱动滑轮上旋转。在另一个方面中,披露了机械手驱动组件,这些机械手驱动组件包括安装于基座及安装于腹板上的滑轮。如数个其他方面,提供了机械手驱动组件及运作的方法。
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