发明授权
- 专利标题： 一种金属微结构及其制作方法
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申请号： CN201610188420.6申请日： 2016-03-29
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公开(公告)号： CN105858591B公开(公告)日： 2017-07-28
- 发明人: 张天冲 , 伊福廷 , 王波 , 刘静 , 张新帅 , 孙钢杰 , 王雨婷
- 申请人： 中国科学院高能物理研究所
- 申请人地址： 北京市石景山区玉泉路19号乙
- 专利权人： 中国科学院高能物理研究所
- 当前专利权人： 中国科学院高能物理研究所
- 当前专利权人地址： 北京市石景山区玉泉路19号乙
- 代理机构： 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 任岩
- 主分类号： B81C1/00
- IPC分类号： B81C1/00 ; B81B1/00
摘要：
本发明提供了一种金属微结构及其制作方法，其中方法首先在一平整的基片的表面涂覆一层光刻胶，并对光刻胶进行曝光、显影，以在基片的表面形成光刻胶图形，然后令基片发生形变，以使得所述光刻胶图形随所述基片一同发生形变，接着在基片表面上的非光刻胶图形处，进行金属镀膜，最后去除光刻胶和基片，得到金属微结构。本发明实现了具有不同轴线方向通孔的金属微结构，其在光学成像领域有重要应用价值。
公开/授权文献
- CN105858591A 一种金属微结构及其制作方法 公开/授权日：2016-08-17
