发明公开
- 专利标题: 采用磁拖动结构实现的LDPSn介质EUV光源系统
- 专利标题(英): LDP Sn medium EUV light source system realized by adopting magnetic dragging structure
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申请号: CN201610452115.3申请日: 2016-06-21
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公开(公告)号: CN105867076A公开(公告)日: 2016-08-17
- 发明人: 赵永蓬 , 徐强 , 王骐
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构: 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 岳昕
- 主分类号: G03F7/20
- IPC分类号: G03F7/20
摘要:
采用磁拖动结构实现的LDP Sn介质EUV光源系统,涉及极紫外光刻光源技术,目的是为了解决LDP EUV光源的Sn靶拖动装置无法确保Sn靶与外界处于真空隔离状态的问题。本发明中Sn靶的拖动装置采用磁拖动结构实现,磁拖动结构中的转动电机用于带动电磁铁旋转,电磁铁带动Sn靶旋转,Sn靶为圆形,并能够绕其轴线转动,支撑架为带有磁铁的圆形框架,Sn靶固定在支撑架上,支撑架位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室内部,转动电机和电磁铁位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室外部。本发明能够实现拖动结构、电源及Sn靶之间的真空隔离,结构简单、控制精度高,适用于LDP Sn介质EUV光源系统。