采用磁拖动结构实现的LDPSn介质EUV光源系统
摘要:
采用磁拖动结构实现的LDP Sn介质EUV光源系统,涉及极紫外光刻光源技术,目的是为了解决LDP EUV光源的Sn靶拖动装置无法确保Sn靶与外界处于真空隔离状态的问题。本发明中Sn靶的拖动装置采用磁拖动结构实现,磁拖动结构中的转动电机用于带动电磁铁旋转,电磁铁带动Sn靶旋转,Sn靶为圆形,并能够绕其轴线转动,支撑架为带有磁铁的圆形框架,Sn靶固定在支撑架上,支撑架位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室内部,转动电机和电磁铁位于LDP Sn介质EUV光源系统的真空放电室外部。本发明能够实现拖动结构、电源及Sn靶之间的真空隔离,结构简单、控制精度高,适用于LDP Sn介质EUV光源系统。
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