一种石英晶体谐振器、智能压力传感器及其传感测量方法
摘要:
本发明适用于压力传感器技术领域,提供了一种石英晶体谐振器、智能压力传感器及其传感测量方法。该石英晶体谐振器包括压电石英晶片、基座、感应膜和外盖,所述压电石英晶片的两面上分别镀有金属电极,所述压电石英晶片固设于基座上;所述基座上有两金属引出端,所述两金属电极分别与两金属引出端相接触;所述外盖上开设有一通孔,所述外盖盖置于基座上,且将所述压电石英晶片封闭于基座内;所述感应膜密闭设置于所述通孔上。所述的石英晶体谐振器利用压电石英晶片在厚度切变谐振模式下谐振频率和该晶片表面所承受的压力有关这一特殊特性,实现了对环境压力的传感和测量。该晶体谐振器具有实现简单、易于批量生产以及制造成本低等特点。
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