Invention Publication
CN105910630A 基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置
失效 - 权利终止
- Patent Title: 基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置
- Patent Title (English): Light path difference measurement method based on space light path difference modulation and device thereof
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Application No.: CN201610261978.2Application Date: 2016-04-25
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Publication No.: CN105910630APublication Date: 2016-08-31
- Inventor: 孙长胜 , 朱永田 , 胡中文 , 徐腾
- Applicant: 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
- Applicant Address: 江苏省南京市板仓街188号
- Assignee: 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
- Current Assignee: 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所
- Current Assignee Address: 江苏省南京市板仓街188号
- Agency: 江苏致邦律师事务所
- Agent 栗仲平
- Main IPC: G01D5/28
- IPC: G01D5/28

Abstract:
基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置:⑴.宽带LED透过小圆孔为光源;⑵.经准直透镜成为准直光束;⑶.第一平板分束器耦合激光和白光;⑷.耦合后经第二平板分束器分为完全相同的两束光;⑸.两束光分别经过相同的反射镜和角隅棱镜,其中一个角隅棱镜放置在高精度直线电机平移台上,以提供高精度光程差控制;⑹.两束光经第三平板分束器合束,同时提供两束光之间的微小倾角;⑺.成像透镜将两束光形成的干涉条纹成像到电荷耦合元件探测器上;⑻.使用算法提取干涉条纹位置;(9).计算两光束之间的光程差,得到测量结果。本发明对大气湍流不敏感。最大误差0.159微米,小于平均波长。精度满足条纹相干的要求。
Public/Granted literature
- CN105910630B 基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置 Public/Granted day:2018-07-10
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