基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置
Abstract:
基于空间光程差调制的光程差测量方法及其装置:⑴.宽带LED透过小圆孔为光源;⑵.经准直透镜成为准直光束;⑶.第一平板分束器耦合激光和白光;⑷.耦合后经第二平板分束器分为完全相同的两束光;⑸.两束光分别经过相同的反射镜和角隅棱镜,其中一个角隅棱镜放置在高精度直线电机平移台上,以提供高精度光程差控制;⑹.两束光经第三平板分束器合束,同时提供两束光之间的微小倾角;⑺.成像透镜将两束光形成的干涉条纹成像到电荷耦合元件探测器上;⑻.使用算法提取干涉条纹位置;(9).计算两光束之间的光程差,得到测量结果。本发明对大气湍流不敏感。最大误差0.159微米,小于平均波长。精度满足条纹相干的要求。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0