本发明公开了一种用辉光放电氟化处理盆式绝缘子表面的装置和方法，所述方法将盆式绝缘子清洁、烘干后，放置在一个密封腔体内，上下分别接两电极。利用真空泵对密封腔体抽真空，并向腔体内充入低气压的SF6气体。调节施加于电极上的工频电压幅值使得电极间产生SF6气体的辉光放电，利用电流表记录回路电流值，并在一定的电流幅值下，利用该辉光放电产生的等离子体对盆式绝缘子表面进行一段时间的氟化处理。本发明采用SF6辉光放电等离子体氟化处理绝缘子表面，放电电流小，电压幅值低，盆式绝缘子不会受到损伤，并可在短时内大幅提高盆式绝缘子的沿面闪络电压，具有操作简便、安全高效、成本低廉等优点。