粘接组合物以及具有其的粘接膜、带粘接组合物的基板、半导体装置及其制造方法
Abstract:
本发明提供一种形成了裂缝的状态下的强度优异的粘接组合物,所述粘接组合物的特征在于,含有(A)聚酰亚胺、(B)多官能环氧化合物、(C)环氧固化剂及(D)无机粒子,上述(A)聚酰亚胺在不挥发性有机成分中的比例为3.0重量%以上、30重量%以下,上述(C)环氧固化剂在不挥发性有机成分中的比例为0.5重量%以上、10重量%以下,并且,将不挥发性有机成分的总克数记为T、将不挥发性有机成分中的环氧基的摩尔数记为M,T/M为400以上、8000以下。
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