发明授权
- 专利标题： 分子束增强GCIB处理
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申请号： CN201480073422.X申请日： 2014-11-21
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公开(公告)号： CN105917438B公开(公告)日： 2018-04-24
- 发明人: 马修·C·格温
- 申请人： TEL , 艾派恩有限公司
- 申请人地址： 美国马萨诸塞州
- 专利权人： TEL,艾派恩有限公司
- 当前专利权人： TEL,艾派恩有限公司
- 当前专利权人地址： 美国马萨诸塞州
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 康建峰; 李春晖
- 优先权： 61/907,669 2013.11.22 US
- 国际申请： PCT/US2014/066888 2014.11.21
- 国际公布： WO2015/077604 EN 2015.05.28
- 进入国家日期： 2016-07-15
- 主分类号： H01J37/317
- IPC分类号： H01J37/317
摘要：
描述了一种用于执行各种材料的气体团簇离子束(GCIB)蚀刻处理的方法和系统。特别地，该GCIB蚀刻处理包括使用一种或更多种分子束来优化离子束的局部区域处的压力。
公开/授权文献
- CN105917438A 分子束增强GCIB处理 公开/授权日：2016-08-31