Invention Publication
- Patent Title: 用于沉积之监控系统及其操作方法
- Patent Title (English): Monitoring system for deposition and method of operation thereof
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Application No.: CN201480073548.7Application Date: 2014-12-19
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Publication No.: CN105917453APublication Date: 2016-08-31
- Inventor: 马耶德·A·福阿德
- Applicant: 应用材料公司
- Applicant Address: 美国加利福尼亚州
- Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee: 应用材料公司
- Current Assignee Address: 美国加利福尼亚州
- Agency: 北京律诚同业知识产权代理有限公司
- Agent 徐金国; 赵静
- Priority: 61/919,776 2013.12.22 US
- International Application: PCT/US2014/071684 2014.12.19
- International Announcement: WO2015/095799 EN 2015.06.25
- Date entered country: 2016-07-19
- Main IPC: H01L21/66
- IPC: H01L21/66 ; H01L21/027
Abstract:
一种监控系统及其操作方法包括：提供基板于平台上；执行扫描基板；沉积材料层于基板上；监控材料层的沉积厚度；及基于沉积厚度的误差产生警报。
Public/Granted literature
- CN105917453B 用于沉积之监控系统及其操作方法 Public/Granted day:2021-10-15
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IPC分类:
