- 专利标题: 用于形成具有工程化空隙的制品的叠层转印膜
- 专利标题(英): LAMINATION TRANSFER FILMS FOR FORMING ARTICLES WITH ENGINEERED VOIDS
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申请号: CN201580004794.1申请日: 2015-01-14
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公开(公告)号: CN105917485A公开(公告)日: 2016-08-31
- 发明人: 埃文·L·施瓦茨 , 贾斯廷·P·迈尔 , 奥勒斯特尔·小本森 , 特里·O·科利尔 , 迈克尔·本顿·弗里 , 罗伯特·F·卡姆拉特 , 米奇斯瓦夫·H·马祖雷克 , 戴维·B·奥尔森 , K·拉维什·谢诺伊 , 马丁·B·沃克
- 申请人: 3M创新有限公司
- 申请人地址: 美国明尼苏达州
- 专利权人: 3M创新有限公司
- 当前专利权人: 3M创新有限公司
- 当前专利权人地址: 美国明尼苏达州
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 王静; 丁业平
- 优先权: 14/159,300 2014.01.20 US
- 国际申请: PCT/US2015/011375 2015.01.14
- 国际公布: WO2015/108953 EN 2015.07.23
- 进入国家日期: 2016-07-15
- 主分类号: H01L51/52
- IPC分类号: H01L51/52 ; G02B6/00
摘要:
本公开涉及一种转印膜,所述转印膜包括具有第一表面和第二表面的牺牲模板层,所述第二表面具有与所述第一表面相对的结构化表面;适形于所述牺牲模板层的所述结构化表面的热稳定回填层,并且其中靠近所述第一表面的所述牺牲模板层的一部分比靠近所述第二表面的所述牺牲模板层的一部分具有更大的热稳定分子种类浓度。
公开/授权文献
- CN105917485B 用于形成具有工程化空隙的制品的叠层转印膜 公开/授权日:2018-08-21
IPC分类: