Invention Grant
- Patent Title: 一种乙炔气体传感器及其制备方法
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Application No.: CN201610490157.6Application Date: 2016-06-17
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Publication No.: CN105928983BPublication Date: 2018-11-09
- Inventor: 陈宇 , 阮圣平 , 李超 , 郭文滨 , 温善鹏 , 董玮 , 周敬然 , 沈亮 , 张歆东 , 刘彩霞 , 陈川 , 孙亮
- Applicant: 吉林大学
- Applicant Address: 吉林省长春市前进大街2699号
- Assignee: 吉林大学
- Current Assignee: 重庆渝微电子技术研究院有限公司
- Current Assignee Address: 吉林省长春市前进大街2699号
- Main IPC: G01N27/00
- IPC: G01N27/00
Abstract:
本发明公开了一种乙炔气体传感器及其制备方法,该乙炔气体传感器由Al2O3衬底、Pd金属叉指电极和基于Au纳米粒子修饰SnO2纳米晶敏感层组成。该制备方法的步骤为:把Pd金属叉指电极的Al2O3衬底清洗干净并干燥;室温条件下得到SnO2纳米晶材料;将氯金酸溶于去离子水形成氯金酸溶液,然后将SnO2纳米晶加入到氯金酸溶液中,超声处理后加入氨水,所得产物清洗、干燥、煅烧得到Au纳米粒子修饰的SnO2纳米晶材料,研磨成微球粉末;滴入去离子水,再研磨成浆料;将浆料涂覆在Pd金属叉指电极上,烘干得到以Au纳米粒子修饰SnO2纳米晶为敏感层、以Pd为金属的Pd金属叉指电极的气体传感器。
Public/Granted literature
- CN105928983A 一种乙炔气体传感器及其制备方法 Public/Granted day:2016-09-07
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