基于黑磷和磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法
摘要:
本发明公开了一种基于黑磷和磁控溅射氮化铝的氮化镓生长方法,主要用于改善氮化镓材料质量。其生长步骤是:(1)制备黑磷过渡层;(2)磁控溅射氮化铝过渡层;(3)热处理;(4)生长氮化铝缓冲层;(5)生长低V‑Ш比氮化镓层;(6)生长高V‑Ш比氮化镓层。本发明的氮化镓薄膜的优点在于,结合了黑磷和磁控溅射氮化铝,材料质量优异,适用衬底范围大,可用于制作高性能的氮化镓基器件。
公开/授权文献
0/0