薄膜电容在线密封性检测设备及检测方法
摘要:
本发明公开一种薄膜电容在线密封性检测设备及检测方法,薄膜电容在线密封性检测设备包括:密封容器,具有用于放置被测电容的密闭空腔;测试检测组件,与密封容器连接,测试检测组件能够向密封容器中充入设定压力的流体并能够实时检测密封容器内的流体压力变化值;分选组件,能够根据密封容器内的流体压力变化值分选不良电容和/或良品电容。应用本发明的技术方案,设置测试检测组件通过流体压力变化检测被测电容是否泄漏,能够提高被测电容的检测效率,进而达到提高生产效率的目的,设置分选组件,并根据流体压力变化值识别不良电容,能够将电容密封性识别数据化。
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