本发明公开了一种去除石化工业废气中苯系物的处理方法，废气依次通过余热交换器、气体过热保护装置、热式气体质量流量计、混合气体流量调节阀、布袋式除尘器、钨线圈表面活化‑臭氧氧化处理装置、烟气水洗净化塔、引风机进行处理。本发明创造性的利用了臭氧在某些金属单质表面所特有的表面活化特性，当钨金属线圈处于通电炽热的状态下，臭氧在其表面可迅速释放出活化氧原子，可在钨金属表面产生一种强氧化环境，当诸如苯系物等含有共轭效应C‑C键的分子处于此种强氧化环境下时，其共轭C‑C键会被活化氧原子打破，苯系物分子最终被氧化分解为H2O和CO2等无机分子，从而达到去除废气中苯系物的目的。