发明授权
- 专利标题: 一种除尘系统及除尘方法
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申请号: CN201610370079.6申请日: 2016-05-30
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公开(公告)号: CN105964621B公开(公告)日: 2018-05-29
- 发明人: 罗华明 , 毛晓明
- 申请人: 上海华力微电子有限公司
- 申请人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人: 上海华力微电子有限公司
- 当前专利权人地址: 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路568号
- 代理机构: 上海天辰知识产权代理事务所
- 代理商 吴世华; 陈慧弘
- 主分类号: B08B5/02
- IPC分类号: B08B5/02 ; B08B13/00
摘要:
本发明提供了一种除尘系统及除尘方法,通过将支撑待清洁部件的台面在竖直方向上设置,待清洁部件也呈竖直方向设置,避免喷嘴喷射到待清洁部件表面的气体扬起的颗粒再次回落到待清洁部件表面而造成的二次污染;颗粒检测设备检测到待清洁部件上颗粒信息,根据颗粒信息,除尘设备的控制单元来控制喷嘴移动到颗粒的相对位置,使喷嘴能够对准颗粒喷射气体,从而有针对性地有效消除颗粒,避免颗粒回落到待清洁部件上造成二次污染。
公开/授权文献
- CN105964621A 一种除尘系统及除尘方法 公开/授权日:2016-09-28
IPC分类: