发明公开
- 专利标题: 基于微悬臂投影的光电式气敏传感器
- 专利标题(英): Photoelectric gas sensor based on micro-cantilever projection
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申请号: CN201610392191.X申请日: 2016-06-01
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公开(公告)号: CN105973952A公开(公告)日: 2016-09-28
- 发明人: 钱林茂 , 汪红波 , 蒋淑兰 , 李斌 , 余丙军 , 陈磊
- 申请人: 西南交通大学
- 申请人地址: 四川省成都市二环路北一段111号
- 专利权人: 西南交通大学
- 当前专利权人: 西南交通大学,江亮
- 当前专利权人地址: 610031 四川省成都市二环路北一段111号
- 代理机构: 成都博通专利事务所
- 代理商 陈树明
- 主分类号: G01N27/26
- IPC分类号: G01N27/26 ; G01N21/84
摘要:
一种基于微悬臂投影的光电式气敏传感器,包括不透明的矩形壳体(9)、封装在矩形壳体(9)底部的芯片和矩形壳体(9)侧壁上部固定的光源(8);其中,所述的芯片依次由基底(1)、下绝缘材料层(2)、光敏材料层(3)、微悬臂结构层(5)组成;其特征在于:所述的微悬臂结构层(5)的中部和上绝缘材料层(4)的中部为贯通的矩形空腔;矩形空腔内的矩形质量块(7a)通过条状的微悬梁(7b)连接在微悬臂结构层(5)靠近光源(8)一侧的空腔壁上,构成异形微悬臂;且矩形质量块(7a)的表面沉积了一层气敏材料层(7c)。该种光电式气敏传感器灵敏度高、分辨率好、响应快、成本低、且使用寿命长。
公开/授权文献
- CN105973952B 基于微悬臂投影的光电式气敏传感器 公开/授权日:2018-10-19