光刻胶图形成形方法及装置、膜层、基板及制作方法
摘要:
本发明公开了一种光刻胶图形的成形方法、膜层制作方法、基板及其制作方法、显示装置、光刻胶喷涂装置,本发明通过喷涂的方式在薄膜上喷涂光刻胶形成预定形状的图形,可以省去曝光、显影的步骤,简便快捷,同时可以不用涂覆整面的光刻胶,并且避免使用显影液等化学试剂,不会造成光刻胶以及显影剂的浪费,节约了资源,降低了成本。另外本发明不必根据光刻胶的图像更换不同的掩膜版,可以进一步地降低生产成本。
0/0