发明公开
- 专利标题: 光刻胶图形成形方法及装置、膜层、基板及制作方法
- 专利标题(英): Photoresist pattern forming method and device, film, substrate and manufacturing method
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申请号: CN201610579302.8申请日: 2016-07-21
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公开(公告)号: CN105974740A公开(公告)日: 2016-09-28
- 发明人: 李贺飞 , 宫奎 , 王铖铖 , 董必良 , 李纪龙
- 申请人: 京东方科技集团股份有限公司 , 合肥京东方光电科技有限公司
- 申请人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人: 京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市朝阳区酒仙桥路10号
- 代理机构: 北京路浩知识产权代理有限公司
- 代理商 李相雨
- 主分类号: G03F7/16
- IPC分类号: G03F7/16 ; G03F1/80
摘要:
本发明公开了一种光刻胶图形的成形方法、膜层制作方法、基板及其制作方法、显示装置、光刻胶喷涂装置,本发明通过喷涂的方式在薄膜上喷涂光刻胶形成预定形状的图形,可以省去曝光、显影的步骤,简便快捷,同时可以不用涂覆整面的光刻胶,并且避免使用显影液等化学试剂,不会造成光刻胶以及显影剂的浪费,节约了资源,降低了成本。另外本发明不必根据光刻胶的图像更换不同的掩膜版,可以进一步地降低生产成本。
IPC分类: