气密性封装结构及封装方法
摘要:
本发明公开了一种气密性封装结构及封装方法。该封装结构包括:第一载板;第一模塑体,形成为环形,设置在第一载板的上表面,与第一载板形成空腔;第二载板,设置在第一模塑体上,并封盖空腔;M个空腔封装型元器件,容纳在空腔内,其中,M1个空腔封装型元器件设置在第一载板的上表面,M2个空腔封装型元器件设置在第二载板的下表面,每个空腔封装型元器件与所在载板上的布线结构电连接,M≥1,且M=M1+M2;密封层,覆盖第一载板的第一表面区域、并包围第一模塑体和第二载板的外表面,第一表面区域为第一载板的上表面中被暴露的表面区域;以及第二模塑体,覆盖在密封层之上。由此,可以以较低成本实现带空腔的气密性封装。
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