发明授权
CN105977334B 一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法
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申请号： CN201610527980.X申请日： 2016-07-07
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公开(公告)号： CN105977334B公开(公告)日： 2017-06-06
- 发明人: 李品将 , 李学峰 , 王玉丹 , 祁强 , 张士礼 , 代亚威
- 申请人： 许昌学院
- 申请人地址： 河南省许昌市八一路88号
- 专利权人： 许昌学院
- 当前专利权人： 许昌学院
- 当前专利权人地址： 河南省许昌市八一路88号
- 代理机构： 河南大象律师事务所
- 代理商 尹周
- 主分类号： H01L31/072
- IPC分类号： H01L31/072 ; H01L31/032 ; H01L31/18 ; C23C14/35 ; C23C14/18 ; C23C14/58
摘要：
本发明公开了一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法，先用磁控溅射仪在FTO导电玻璃上溅射不同厚度的Sn，称取不同量的硫粉，在管式炉中硫化得到SnS2，用无水乙醇、蒸馏水各洗涤3次，真空干燥。再用磁控溅射仪上在SnS2导电玻璃上溅射Sn，放在管式炉中真空烧结，得到目标产物。本法用磁控溅射的方法得到致密的Sn，在真空下烧结通过固相反应得到目标产物。本方法操作简单，对环境无污染，反应周期短，形成致密的薄膜。
公开/授权文献
- CN105977334A 一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法 公开/授权日：2016-09-28
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