发明公开
- 专利标题: 一种双面氧化锌纳米梳的制备方法
- 专利标题(英): Preparation method of double-sided zinc oxide nanocomb
-
申请号: CN201610337330.9申请日: 2016-05-21
-
公开(公告)号: CN106006707A公开(公告)日: 2016-10-12
- 发明人: 高世勇 , 李文强 , 李易昆 , 矫淑杰 , 李洪涛
- 申请人: 哈尔滨工业大学
- 申请人地址: 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人: 黑龙江省工研院资产经营管理有限公司
- 当前专利权人地址: 150027 黑龙江省哈尔滨市高新技术产业开发区科技创新城创新创业广场9号楼中源大道14955号1单元412室
- 代理机构: 哈尔滨龙科专利代理有限公司
- 代理商 高媛
- 主分类号: C01G9/02
- IPC分类号: C01G9/02 ; B82Y40/00
摘要:
本发明公开了一种双面氧化锌纳米梳的制备方法,其步骤如下:一、将超声清洗干净的衬底用氮气吹干后,在其上溅射一层金属Al膜作为水热反应的Al源;二、在沉积有Al膜的衬底上溅射一层厚度约为25~50 nm的氧化锌种子层;三、将沉积有Al膜和氧化锌种子层的衬底竖直放入装有硝酸锌和氨水的混合溶液的反应釜中进行水热反应;四、反应结束后,自然冷却至室温,取出衬底,用去离子水冲洗并在室温下干燥,衬底表面的产物即为双面氧化锌纳米梳。本发明通过对氧化锌种子层厚度的调控,采用一步水热反应,制备出了双面氧化锌纳米梳、氧化锌纳米片和氧化锌纳米棒阵列结构,该方法具有操作简单、可控性强、成本低等优点,适用于大面积生长,且可应用于多种衬底,具有很高的实用价值和应用前景。
公开/授权文献
- CN106006707B 一种双面氧化锌纳米梳的制备方法 公开/授权日:2017-06-30