一种提高常压封装硅微陀螺零偏性能的系统
摘要:
本发明公开了一种提高常压封装硅微陀螺零偏性能的系统,包括:包括硅微陀螺结构、驱动闭环电路和开环检测电路,所述硅微陀螺结构包括驱动轴向结构和检测轴向结构;驱动轴向结构和驱动闭环电路组成驱动闭环回路,驱动闭环回路用于保证驱动模态的等效质量沿X轴方向恒幅恒频振动;检测轴向结构依次连接电容电压转换放大电路、开关解调电路和低通滤波器,驱动轴向结构通过相位补偿电路连接至开关解调电路,驱动轴向结构上并联驱动闭环电路;所述开环检测电路包括电容电压转换放大电路、相位补偿电路、开关解调电路和低通滤波器。
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